Effect of porosity on mechanical and fracture properties of Advanced PECVD Ultralow-k SiCOH films
Typ
Examensarbete för masterexamen
Master Thesis
Master Thesis
Program
Publicerad
2012
Författare
Wu, Chen
Modellbyggare
Tidskriftstitel
ISSN
Volymtitel
Utgivare
Sammanfattning
Beskrivning
Ämne/nyckelord
Elektroteknik och elektronik , Materialvetenskap , Nanovetenskap och nanoteknik , Produktion , Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering , Materials Science , Nanoscience & Nanotechnology , Production