Chalmers processlaboratorium MC2. Krav, funktion och uppbyggnad av klimathållningssystem

Abstract

Detta examensarbete beskriver de installationstekniska systemen hörande till renrummet vid Institutionen f6r mikroteknologi och nanovetenskap. Syftet är att klargöra huruvida uppsatta krav; vad gäller renhet, temperatur, luftfuktighet och energiåtgång har definierats och på vilket sätt man kan uppnå dem. Information om renrummet har inhämtats från tillgänglig dokumentation och från diskussioner med driftorganisationens personal. Rapporten inleds med en genomgång av ett antal grundläggande begrepp som är relevanta för renrum, På detta följer en beskrivning av renrummet och luftbehandlingssystemens uppbyggnad. De krav som ställts inför byggandet presenteras och likaså de som råder för närvarande. En analys av konsekvenserna för skillnaderna som har identifierats görs. Ett betydande utrymme ägnas åt den sänkning av renhetskravet som skett. Vidare beskrivs reglerstrategier och hur dessa har förändrats sedan renrummet togs i drift. Några utvalda problemställningar har studerats närmare. Det har konstaterats att cirkulationsaggregatens fläktar har en helt annan arbetspunkt än den som var avsedd vilket innebär att dessa förmodligen inte utnyttjas optimalt. För att inte tillförsel av föroreningar, in i renrummet, ska ske är det av vikt att tryekdifferenser mellan utrymmen av olika renhetskiass upprätthålls. Dessa förhållanden har undersökts och brister har konstaterats. Eftersom driftenergiåtgången för renrum av den här typen är hög har en analys gjorts och vissa förslag presenteras på hur användningen kan effektiviseras.