Effect of porosity on mechanical and fracture properties of Advanced PECVD Ultralow-k SiCOH films
Publicerad
Författare
Typ
Examensarbete för masterexamen
Master Thesis
Master Thesis
Program
Modellbyggare
Tidskriftstitel
ISSN
Volymtitel
Utgivare
Sammanfattning
Beskrivning
Ämne/nyckelord
Elektroteknik och elektronik, Materialvetenskap, Nanovetenskap och nanoteknik, Produktion, Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering, Materials Science, Nanoscience & Nanotechnology, Production